来自 科技 2019-12-31 14:01 的文章

恭喜:上海!又一12寸厂:ASML光刻机搬入

重要信息

12月28日,积塔半导体特色工艺生产线首台光刻设备搬入仪式在上海自由贸易试验区临港新片区积塔半导体厂区举行。这标志着积塔半导体从建设期向生产运营期迈出重要一步,为2020年底实现批量生产打下基础。

上海积塔半导体特色工艺生产线项目是上海市重大工程,总投资为359亿元,是上海市政府与中国电子信息产业集团合作协议的重要内容,也是其中第一个落地的重大产业项目。该项目位于上海浦东新区临港装备产业区,占地面积23万平方米。



2018年8月7日,上海积塔半导体特色工艺生产线建设项目土地成功摘牌,并签订了土地出让合同;同年8月16日,该项目顺利开工;2019年5月21日,临港产业区迎来积塔半导体特色工艺生产线厂房结构封顶的重要时刻。

而首台光刻设备搬入又是一个里程碑式的事件。积塔项目以建设成为模拟与功率领域国内领先的特色工艺半导体生产线为目标,建成投产后,将进一步帮助完善上海打造集成电路产业高地布局,发挥产业集聚效应,加快建设具有国际竞争力的综合性产业集群。


重点面向汽车级产品

上海积塔半导体特色工艺生产线项目是上海市重大工程,总投资为359亿元,是上海市政府与中国电子信息产业集团合作协议的重要内容,也是其中第一个落地的重大产业项目。该项目位于上海浦东新区临港装备产业区,占地面积23万平方米。

积塔半导体特色工艺生产线项目一期项目主厂房已于5月结构封顶,按计划于年底前启动设备搬迁与安装工作。首台光刻设备搬入是一个里程碑事件。积塔项目建成投产后,将进一步帮助完善上海打造集成电路产业高地布局,发挥产业集聚效应,加快建设具有国际竞争力的综合性产业集群。

今年5月国务院国资委官网消息显示,上海集成电路产业投资基金股份有限公司、华大半导体有限公司增资积塔半导体项目。项目目标是建设月产能6万片的8英寸生产线和5万片12英寸特色工艺生产线,将打造面向工业控制和汽车电子等高端应用的特色工艺生产线,产品重点面向工业控制、汽车、电力、能源等领域,将显著提升中国功率器件(IGBT)、电源管理、传感器等芯片的核心竞争力和规模化生产能力,将在国内首家实现65nm 12英寸BCD工艺(即在同一芯片上制作双极管bipolar,CMOS和DMOS器件),建成国内唯一的汽车级IGBT专业产线和国内首家实现6英寸碳化硅量产线。

IGBT产品被应用于电力电子、轨道交通机车和新能源汽车领域。近两年由于产能紧张,电动车市场需求旺盛,汽车级 IGBT的价格涨幅较大,市场需求每年都维持了10%至20%的增幅。国内的企业如比亚迪和中车株洲都有相应的生产线。

业内认为,积塔半导体项目建成后,如能真正实现65nm 12英寸BCD工艺,实现建成国内唯一的汽车级IGBT(绝缘栅双极型晶体管)专业产线和国内首家实现6英寸碳化硅量产线的既定目标,那么投产后将在产品产能提升、技术提升、产业应用推广上有很大的推动作用。